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全球领先的压电技术
通过DLC成膜的等离子控制技术与无机晶体控制技术相结合,我们成功地将被认为极难合成的压电材料单晶化, 并建立了制造方法。 单晶技术能够应用在各种半导体加工,同时表现出比现有多晶材料更高的性能。
单晶成膜技术的原理
KRYSTAL
®
Wafer晶圆技术的关键在于其独特的缓冲层,尤其是当中氧化锆的形状改变。 在铂或氧化锆的界面表面上,微小的金字塔(纳米金字塔)结构能有规律地生长。